طريقة الرش الكيميائي الحراري:

تحضر الأغشية بهذه الطريقة من خلال رش محلول أملاح المادة المراد تحضير الغشاء منها على قواعد ساخنة وبدرجة حرارة معينه تعتمد على نوع المادة المستعملة حيث تتم عملية التحلل الحراري ( Thermal decomposition) للمركبات الصلبه المتكونة على سطح القاعدة الساخنة لتعطي نواتج مستقره كيميائياً .
تعد طريقة الرش الكيميائي الحراري من الطرائق المهمة والفعالة في تحضير الأغشية الرقيقة المستخدمة في الكثير من التطبيقات الصناعية كصناعة الخلايا الشمسية والكواشف ومن مميزات هذه ألطريقه :
K اقتصادية نظراً لقلة تكاليف الأجهزة المستخدمة في تحضير الأغشية حيث لاتحتاج إلى أجهزة معقدة للتحضير مثل أنظمة التفريغ التي تستخدم في طريقتين الترذيذ والتبخير .
K إمكانية تحضير أغشية رقيقة المركبات ذات درجات انصهار عالية يصعب تحضيرها بالطرائق الأخرى ملائمة لتحضير اكاسيد وكبريتات هذه المواد .
K يمكن تحضير أغشية رقيقة بمساحات اكبر مما توفر الطرائق الأخرى .
K يمكن تحضير أغشية من مزج مادتين أو أكثر لها درجات انصهار مختلفة مثل (pbs.zns).
K الأغشية المحضرة بهذه الطريقة لها استقرارية عالية في صفاتها الفيزيائية مع مرور الزمن .
تتألف منظومة الترسيب بالرش الكيميائي الحراري من عدة أجهزة بسيطة بحيث يتم الاستفادة منها في تحضير أغشية رقيقة على قواعد متنوعة .